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技术方案

  • 探针台如何选型

    探针台的选型需要根据具体应用需求和预算(能否做免税)。 应用方面需要确定以下的问题: 1、最大需要测几英寸的晶圆或者器件?是否需要测试破片或者单颗芯片, 最小的单颗芯片尺寸? 2、 探针台机械精度要求多高? 3、 点测样品的电极尺寸?100um*100um或60um*60um的pad,还是FIB制作的mini pad,或者ic内部的metal线路? 4、 最多需要几根探针同时去点测? 5、 是否会用到探针卡测试? 6、 光学显微镜的最小分辨率需要用到多少? 7、 显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测? 8、 探针点测时,对电流的要求是否达到100fa或者以下?低电容的要求是否要做到0.1pf?是否有射频的需求? 9、 接驳的测试仪器接口有哪些? 10、测试环境时是否会需要加热或者降温? 是否需要密闭腔体? 11、对chuck的漏电要求怎样?是否需要添加低阻抗chuck? 12、是否需要防震桌? 13、若添置防震桌,是否有压缩空气?
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邮编:611730

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