产品概要

M系列探针台简易轻便，占有空间小且移动方便。在保证测试精度的前提下，又极具性价比，非常适合高校教学实验使用。如果测试器件的PAD点大于30μm，M系列则是其中的主选设备之一。该设备能胜任各种DC直流，至67GHz的RF射频，MEMS等测试应用。

基本信息

应用方向

广泛应用于DC直流/（I-V、C-V、I-t、V-t），DC直流/低电流（100fA级）测试 ，1/f噪声测试 ，器件表征测试，RF射频等。

技术特点

> 全新升级的卡盘移动平台

封闭式移动平台设计，防尘，防误操作，结构美观； 移动平台采用THK精密丝杠传动+线性移动+无间隙回程差设计+卡盘锁紧功能，多方面提升卡盘移动精度。

> 带有3段真空吸附控制的卡盘

采用中心真空吸附孔和3圈真空吸附环固定样品，卡盘每个真空通道均可独立控制。标准卡盘中心吸附孔为1mm直径，亦可根据客户要求定制。同时卡盘角度可360旋转，微旋转调节精度0.002°，方便调节待测样品位置。

> POMater™ 自适应隔震底座

自适应减震底座设计，德国进口隔震材料增强弹性支撑，实现不同程度的刚性硬度和承载范围，并有效过滤环境中的震动源干扰，确保探针末端和样品的Pad稳定接触，提升测试的稳定性。